
稱(chēng)為T(mén)OPAZ P1 / P2 / P3的新激光系統可以配備各種激光源,包括紅外,綠色或紫外波長(cháng)范圍內的納秒,皮秒和飛秒激光器,可以從基板側或薄膜側完成。該公司聲稱(chēng)每天的吞吐量超過(guò)10000個(gè)基板,300條劃線(xiàn)的周期時(shí)間為10秒。
據說(shuō)工作區域上升2400 mm x 1300 mm,支持2 mm至4 mm范圍內的基板厚度。 “當然,客戶(hù)可以在工作區域范圍內要求特定尺寸,”4JET銷(xiāo)售總監Benjamin Bopp告訴雜志。
該系統具有具有“單個(gè)路徑跟蹤”功能的激光子系統設計,Bopp說(shuō)這與其他功能有關(guān),例如單個(gè)自動(dòng)對焦以及每個(gè)處理光束的單獨功率平衡。
“例如,在其他概念中,只有一個(gè)傳感器用于多個(gè)激光束,這會(huì )導致設計不準確。來(lái)自光源的激光束在加工頭中分成多個(gè)激光束。由于光束分裂在現實(shí)生活中從來(lái)都不是完美的,這會(huì )導致功率分布不均勻,因此劃線(xiàn)結果不均勻,“Bopp說(shuō)。
每個(gè)激光單元都有自己的傳感器、功率電平設置和聚焦光學(xué)器件。根據Bopp的說(shuō)法,這些功能導致更精確的測量和更多的測量點(diǎn),這反過(guò)來(lái)意味著(zhù)更精確,一致的劃線(xiàn),以及減少劃線(xiàn)之間的非生產(chǎn)區域的潛力,即所謂的盲區。
根據制造商的說(shuō)法,系統設計還具有能夠使劃線(xiàn)更緊密地靠在一起而不會(huì )增加交叉風(fēng)險的好處,從而減少焦點(diǎn)位置的不準確性,并淡出線(xiàn)條,尤其是在模塊的邊緣。
新解決方案的功率要求為 400Vac、63 A,工廠(chǎng)車(chē)間占地面積為 7500 mm³ x 5650 mm³ x 2300 mm³,包括外圍設備。
據Bopp稱(chēng),第一批客戶(hù)正在中試生產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)中使用新系統,并訂購了幾個(gè)用于批量生產(chǎn)目的的系統。