據悉,新廠(chǎng)將生產(chǎn)供光阻劑所用的聚合物,光阻劑在芯片制造過(guò)程中經(jīng)曝光而產(chǎn)生反應,是芯片形成電路圖案階段的關(guān)鍵材料。目前,三菱化學(xué)僅在橫濱市鶴見(jiàn)廠(chǎng)生產(chǎn)光阻材料。
三菱化學(xué)集團尚未決定新廠(chǎng)的建廠(chǎng)地點(diǎn),不過(guò)已將九州的福岡縣納入候選,投資額估計高達數十億日元。臺積電日本廠(chǎng)設在九州的熊本縣。日本企業(yè)靠三菱化學(xué)供貨,在全球光阻材料市場(chǎng)市占率達90%。
此外,另一大光阻材料供應商東京應化工業(yè)已決定在福島縣和熊本縣增產(chǎn)。